纳米制造科学和微纳加工技术是支撑纳米科技走向应用的基础。它探索由宏观进入微观时，能量、运动与物质结构和性能间的作用机理与转换规律，建立纳米制造理论基础及工艺与装备原理，揭示纳米尺度制造过程中结构与器件的性能演变规律。

       我们利用光刻技术和电子束刻蚀技术构建新型的微纳米器件，并研究其光、电、磁性能，通过研究微纳材料、器件结构与器件性能的关系，对器件的性能进行优化。